聚焦离子束显微镜FIB应用范围: 1.定点切割 2.穿透式电子显微镜试片 3.IC线路修补和布局验证 4.制程上异常观察分析 5.晶相特性观察分析 6.故障位置定位用被动电压反差分析
0 | 上传人:探针台 2019-03-04 11:23:50 | 热度: 格式:pdf 0篇相似文档